CS - EUV Associate Engineer - Tainan

工作使命

EUV 客戶服務（CS）技術員負責在客戶現場執行 EUV 量產機的維修、故障排除、升級與例行保養（PM），確保系統可用率、良率與安全合規，並提供即時的狀態回報與知識傳遞。

工作說明

CS 組織於客戶現場執行 ASML 系統的驗證、維修、硬體更換及安裝，並確保必要知識轉移。

在指示範圍內工作、能處理常見例外並於類似情境做出合宜判斷。

與資深工程師/ 主管確認優先順序與計畫，於有限監督下完成程序並檢查結果。

參與回饋流程與持續改進活動（CI）。

工作內容（Service action + Regular PM）

A. Service action / PM

Basic Action :

SRC：DGA swap、Tin reload

SCN：SWPC、LLGV swap

DL：RFG swap、Pumpswap（泵浦更換）*

Advance Action :

SRC：IF cap cleaning、SRBB swap*、Collector swap*、TCBA/CFR/FV/HFS

SCN：TopSISO、Top remove

DL：Cleanwater、circuit Al/Cu

B. Regular PM（例行保養）

Daily/Shift

系統健康：Alarms/Warnings、趨勢與關鍵參數巡檢

目視點檢：洩漏、異音、震動、溫度、潔淨度

耗材壽命追蹤：濾心、O-ring 等

Weekly

區域清潔與除塵（外罩、平台、治具）

冷卻/氣體/真空子系統快速點檢（含異常紀錄）

Monthly/Quarterly

指定濾材更換、軸封/潤滑檢查

校正/對位/基準檢查，更新基準值與趨勢圖

效能驗證（Throughput/Availability）與改善建議

Post-PM/Service

Leak check、功能測試、R...